高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體 氬氣是工業上應用很廣的稀有氣體。它的性質十分不活潑，既不能燃燒，也不助燃。在飛機制造、造船、原子能工業和機械工業部門，對特殊金屬，例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時，往往用氬作為焊接保護氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化。 氮氣，化學式為N?，為無色沒味氣體。氮氣化學性質很不活潑，在高溫高壓及催化劑條件下才能和氫氣反應生成氨氣； 氧氣是無色沒味氣體，是氧元素常見的單質形態。熔點-218.4℃，沸點-183℃。不易溶于水，1L水中溶解約30mL氧氣。在空氣中氧氣約占21% 。液氧為天藍色。固氧為藍色晶體。 二氧化碳一種碳氧化合物，化學式為CO2，化學式量為44.0095 ，常溫常壓下是一種無色沒味或無色無臭而其水溶液略有酸味的氣體，也是一種常見的溫室氣體 ，還是空氣的組分之一（占大氣總體積的0.03%-0.04% ）。 乙炔在室溫下是一種無色、極易燃的氣體。 丙烷是一種有機化合物，化學式為CH3CH2CH3，為無色沒味氣體，微溶于水，溶于乙醇，化學性質穩定，不易發生化學反應，常用作冷凍劑、內燃機燃料或有機合成原料。 氫氣，化學式為H?，分子量為2.01588，常溫常壓下，是一種極易燃燒的氣體。無色透明、無臭沒味且難溶于水的氣體。